发明名称 SISTEMA DE ALARMA Y CONTROL PARA PLANTAS DE FABRICACION DE SEMICONDUCTORES
摘要 <p>SISTEMA DE ALARMA Y CONTROL PARA PLANTAS DE FABRICACION DE SEMICONDUCTORES.COMPRENDE UN DETECTOR DE FUEGO (D1) INSTALADO EN UN RECIPIENTE (3) DONDE ESTAN ALOJADOS CILINDROS (1, 2) QUE CONTIENEN LOS GASES DE SILANO Y AMONIACO, Y UN DETECTOR DE FUEGO (D2) INSTALADO EN UNA CAJA (10) DISPUESTA ENTRE EL DISPOSITIVO DE BARRIDO (8) Y EL CONDUCTO DE ESCAPE (9); CONECTADOS DIRECTAMENTE Y A TRAVES DE UN CIRCUITO INVERSOR (I), RESPECTIVAMENTE, CON UN CIRCUITO (OR) CUYA SALIDA SE CONECTA CON UN DISPOSITIVO DE ALARMA, CON UN DISPOSITIVO EXTINTOR DE FUEGO, Y CON UN RELE DE INTERRUPCION DEL PROCESO DE FABRICACION DE LOS SEMICONDUCTORES Y CONSISTEN EN DETECTORES DE HUMOS DEL TIPO DE IONIZACION.</p>
申请公布号 ES8505124(A1) 申请公布日期 1985.07.16
申请号 ES19150005278 申请日期 1983.11.25
申请人 NOHMI BOSAI KOGYO CO., LTD. 发明人
分类号 G08B17/00;A62C3/00;G08B17/117;(IPC1-7):G08B17/08;H01L21/70 主分类号 G08B17/00
代理机构 代理人
主权项
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