发明名称 NEGATIVE ACTING PHOTORESIST COMPOSITION
摘要
申请公布号 JPS60133447(A) 申请公布日期 1985.07.16
申请号 JP19840247881 申请日期 1984.11.22
申请人 MINNESOTA MINING & MFG CO 发明人 UIRIAMU RUIZU KAUSUKU
分类号 C07D251/24;G03F7/004;G03F7/027;G03F7/038 主分类号 C07D251/24
代理机构 代理人
主权项
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