发明名称 |
NEGATIVE ACTING PHOTORESIST COMPOSITION |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS60133447(A) |
申请公布日期 |
1985.07.16 |
申请号 |
JP19840247881 |
申请日期 |
1984.11.22 |
申请人 |
MINNESOTA MINING & MFG CO |
发明人 |
UIRIAMU RUIZU KAUSUKU |
分类号 |
C07D251/24;G03F7/004;G03F7/027;G03F7/038 |
主分类号 |
C07D251/24 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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