发明名称 SPOSOB RIADENIA VERTIKALNEJ STRUKTURY VARIKAPOV
摘要
申请公布号 CS8403563(A1) 申请公布日期 1985.07.16
申请号 CS19840003563 申请日期 1984.05.14
申请人 ZELENAY EMIL ING.;TVAROSKOVA ELENA;SKYRTA JAN 发明人 ZELENAY EMIL ING.;TVAROSKOVA ELENA;SKYRTA JAN
分类号 H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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