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发明名称
PROJEKTIONSBELICHTUNGSVORRICHTUNG
摘要
申请公布号
DE3447489(A1)
申请公布日期
1985.07.11
申请号
DE19843447489
申请日期
1984.12.27
申请人
CANON K.K.
发明人
HIROSE,RYUSHO
分类号
G03F7/20;(IPC1-7):G03F7/20;H01L21/68
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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