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发明名称 PROCESS FOR THE PREPARATION OF THIN POLYIMIDE LAYERS
摘要
申请公布号 DE3170874(D1) 申请公布日期 1985.07.11
申请号 DE19813170874 申请日期 1981.10.26
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 AHNE, HELLMUT, DR.;KLEEBERG, WOLFGANG, DR.;RUBNER, ROLAND, DR.;KRUGER, HANS, DIPL.-PHYS.
分类号 G02F1/133;(IPC1-7):G02F1/133 主分类号 G02F1/133
代理机构 代理人
主权项
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