| 发明名称 |
MASK FOR A PARTICLE BEAM PROTECTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2107618(B) |
申请公布日期 |
1985.07.10 |
| 申请号 |
GB19820029703 |
申请日期 |
1982.10.01 |
| 申请人 |
TECH MIKROELEKTRONIK FORSCH |
发明人 |
DR ING FRANK * SCHMIDT;DR HORST * TYRROFF |
| 分类号 |
H01L21/027;G03F7/26;H01J9/14;H01L21/312;(IPC1-7):H01J9/00;H01J1/52 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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