| 摘要 |
<p>Pour aligner un objet tel qu'un substrat en céramique muni de deux petites croix d'alignement formées simultanément avec la configuration de métallisation et symétriquement par rapport à un axe médian, et disposé sur une platine d'alignement, on effectue les opérations suivantes. On génère dans une fenêtre d'analyse, constituée par une matrice de photodiodes divisée en quadrants (i = 1,2,3,4), une image de référence, de dimensions identiques à celle de l'image de chacune des croix et l'on détermine par quadrant et pour chacune des croix, d'une part, les surfaces "non masquées" correspondant aux surfaces de l'image de la croix qui s'étendent aux delà du contour de l'image de référence (Si<+>, Si<+>') et d'autre part les surfaces masquées correspondant aux surfaces de l'image de référence qui s'étendent au delà de l'image de la croix (Si<->, Si<->'). Ces valeurs sont utilisées pour calculer les corrections (Δx, Δy; Δx', Δy') à appliquer aux centre des croix pour les ramener en position idéale au centre de chaque fenêtre d'analyse. Les corrections finales (ΔX, ΔY, Δϑ) à appliquer à la platine d'alignement sont données par les relations <IMAGE> (d est la distance des deux croix et des fenêtres d'analyse). L'avantage de ce procédé réside dans le fait que travaillant sur des surfaces, il réduit les effets néfastes des irrégularités dans le dessin des croix, qui sont inhérentes au procédé de métallisation.</p> |
