发明名称 LIQUID METAL ION SOURCE
摘要
申请公布号 GB2151071(A) 申请公布日期 1985.07.10
申请号 GB19840028392 申请日期 1984.11.09
申请人 * HITACHI LTD 发明人 KAORU * UMEMURA;TOHRU * ISHITANI;HIFUMI * TAMURA
分类号 H01J27/26;H01J37/08;(IPC1-7):H01J27/02 主分类号 H01J27/26
代理机构 代理人
主权项
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