| 发明名称 |
METHOD OF FORMING LIGHT SUPERPOWER IMAGE ON SURFACE OF SEMICONDUCTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS60128630(A) |
申请公布日期 |
1985.07.09 |
| 申请号 |
JP19840180907 |
申请日期 |
1984.08.31 |
| 申请人 |
INTERN BUSINESS MACHINES CORP |
发明人 |
ANSONII JIYOSEFU KIYASUTERANO JIYUNIA;TOOMASU HAAMAN DEISUTEFUANO;ROBAATO SUCHIIBUN ORIHA JIYUNIA |
| 分类号 |
G01N21/88;G01N21/956;G01N27/00;G01R31/265;G01R31/308;H01L21/66 |
主分类号 |
G01N21/88 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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