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发明名称 ENTWICKLER FUER POSITIVFOTORESISTS
摘要
申请公布号 DE3346979(A1) 申请公布日期 1985.07.04
申请号 DE19833346979 申请日期 1983.12.24
申请人 MERCK PATENT GMBH 发明人 BARON,WINFRIED;MARQUARD,KURT,DIPL.-CHEM.DR.;MERREM,HANS-JOACHIM,DIPL.-CHEM.DR.;SINDLINGER,RAIMUND;THIEL,KLAUS-PETER
分类号 G03C1/72;G03F7/30;G03F7/32;(IPC1-7):G03F7/00 主分类号 G03C1/72
代理机构 代理人
主权项
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