METHOD AND APPARATUS FOR SURFACE DIAGNOSTICS

摘要

Procédé et dispositif permettant d'effectuer une analyse spectrale de masse de substances d'espèces inconnues présentes sur une surface avec des concentrations extrêmement faibles. Un faisceau de sonde tel qu'un faisceau ionique, un faisceau électronique ou un laser est dirigé contre la surface à examiner pour prélever un échantillon de matériau. Un laser non accordé d'intensité élevée est dirigé contre une région spatiale proche de la surface. L'intensité du laser est suffisante pour induire un degré élevé de photo-ionisation non résonnante, et donc non sélective, dans l'échantillon de matériau exposé au faisceau laser. L'échantillon ionisé de manière non sélective est ensuite soumis à une analyse spectrale de masse pour déterminer la nature de l'espèce inconnue.