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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON HEIZOFENTEILEN
摘要
申请公布号 DE3446891(A1) 申请公布日期 1985.07.04
申请号 DE19843446891 申请日期 1984.12.21
申请人 TOSHIBA CERAMICS CO.,LTD. 发明人 TANAKA,TAKASHI;HAYASHI,KENRO
分类号 C04B35/565;C04B35/573;C04B35/626;C30B31/10;H01L21/22;(IPC1-7):C04B35/56;C23C26/02;C30B35/00;H01L21/68 主分类号 C04B35/565
代理机构 代理人
主权项
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