Getter sorption pump with heat accumulator for high-vacuum and gas discharge plants.

摘要

Die Erfindung bezieht sich auf eine Getter-Sorptionspumpe mit mindestens einem Getterkörper (1) aus nichtverdampfendem Gettermaterial und einem zugehörigen Heizelement (5). Es soll die spezifische Leistungsfähigkeit von Getterpumpen bei gleichzeitiger Herabsetzung der erforderlichen Heizleistung erhöht und mit Hilfe einer Wärmespeicherung langzeitig stabilisiert werden. Die Erfindung sieht hierzu vor, daß der Getterkörper (1) auf seiner Außenoberfläche von einer Draht- Gaze (2) oder einem porösen, gasdurchlässigen Sinterrohr (3) eingehüllt ist, und mit seiner Innenoberfläche an mindestens ein wärmespeicherndes Isolierrohr (4) angrenzt, das außerdem als Träger für das Heizelement (5) dient. Eine erfindungsgemäße Getterpumpe findet in Hochvakuumund Gasentladungsanlagen Verwendung.