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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON SUBSTRATSCHEIBEN AUS LITHIUMNIOBAT
摘要
申请公布号 DD224450(A1) 申请公布日期 1985.07.03
申请号 DD19840264039 申请日期 1984.06.12
申请人 AKADEMIE DER WISSENSCHAFTEN DER DDR,DD 发明人 SCHULZ,HARTMUT,DD;NEUBERT,MATTHIAS,DD;STUENDL,GISELA,DD
分类号 H01L21/465;(IPC1-7):H01L21/465 主分类号 H01L21/465
代理机构 代理人
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