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发明名称
摘要
申请公布号 JPS6028140(B2) 申请公布日期 1985.07.03
申请号 JP19780074160 申请日期 1978.06.21
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 IIZUKA YOSHIO
分类号 H01L21/683;H01L21/301;H01L21/302;H01L21/67 主分类号 H01L21/683
代理机构 代理人
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