| 发明名称 |
METHOD OF AND APPARATUS FOR TRANSFERRING SEMICONDUCTOR WAFERS BETWEEN CARRIER MEMBERS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0047132(B1) |
申请公布日期 |
1985.07.03 |
| 申请号 |
EP19810303904 |
申请日期 |
1981.08.26 |
| 申请人 |
HERAEUS QUARZSCHMELZE GMBH |
发明人 |
BAYNE, CHRISTOPHER JOHN |
| 分类号 |
H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/68 |
主分类号 |
H01L21/677 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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