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发明名称 ANTECHAMBER MECHANISM FOR ELECTRON BEAM WRITING APPARATUS
摘要
申请公布号 EP0054623(B1) 申请公布日期 1985.07.03
申请号 EP19810107293 申请日期 1981.09.16
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 MACK, ALFRED;O'NEILL, BRIAN COLLINS;PENZETTA, FRED L.
分类号 H01J37/20;H01J37/18;H01L21/027;H01L21/66;(IPC1-7):H01J37/18 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
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