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发明名称 METHOD OF PRODUCING THIN MAGNETIC FILMS IN SEMICONDUCTORS
摘要
申请公布号 SU1114246(A1) 申请公布日期 1985.06.30
申请号 SU19823495290 申请日期 1982.07.23
申请人 KZ FIZIKO-TEKHNICHESKIJ I KZ FILIALA AN SSSR 发明人 PETUKHOV V.YU.,SU;KHAJBULLIN I.B.,SU;ZARIPOV M.M.,SU
分类号 H01L21/265;(IPC1-7):H01L21/265 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
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