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发明名称 Method of fabricating planar semiconductor devices
摘要
申请公布号 US3352726(A) 申请公布日期 1967.11.14
申请号 US19640359159 申请日期 1964.04.13
申请人 PHILCO-FORD CORPORATION 发明人 LUCE ROBERT L.
分类号 H01L29/73;H01L21/00;H01L21/22;H01L21/331;H01L27/00 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
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