发明名称 PROTECTION OF SILICON SURFACES DURING SILICON CARBIDE DEPOSITION
摘要
申请公布号 CA781889(A) 申请公布日期 1968.04.02
申请号 CAD781889 申请日期
申请人 DOW CORNING CORPORATION 发明人 LEIGH J. HAGA;THOMAS N. TUCKER
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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