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发明名称
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申请公布号 JPS6026186(B2) 申请公布日期 1985.06.22
申请号 JP19770016277 申请日期 1977.02.18
申请人 HITACHI LTD 发明人 YAGI KUNIHIRO;MATSUOKA SADAO;IRIE TAKEO;TAMURA MASAO;KASHU NOBUYOSHI;MYAKE KYOSHI;MORITA OSAMU
分类号 G01R1/06;G01R27/02;G01R27/08;G01R31/26;H01L21/66;H01L29/16 主分类号 G01R1/06
代理机构 代理人
主权项
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