发明名称 PROCEDE DE PRODUCTION D'HYDRURES DE SILICIUM, APPLICATION ET APPAREIL DE MISE EN OEUVRE
摘要 <P>L'INVENTION CONCERNE LA PRODUCTION D'HYDRURES DE SILICIUM PAR HYDROLYSE ACIDE D'ALLIAGES TERNAIRES DU SILICIUM.</P><P>SELON LE PROCEDE ON FAIT REAGIR 1 UN ALLIAGE TERNAIRE INDUSTRIEL DE FORMULE MMSI, DANS LAQUELLE M EST UN METAL REDUCTEUR, M UN ALCALIN OU ALCALINOTERREUX AVEC UN ACIDE DILUE CHOISI PARMI LES HYDRACIDES ET L'ACIDE ORTHOPHOSPHORIQUE, DE CONCENTRATION COMPRISE ENTRE 2N ET 6N, EN ADDITIONNANT L'ALLIAGE TERNAIRE 11 SOUS FORME DE POUDRE FINE SUR L'ACIDE 12, LA REACTION ETANT CONDUITE ENTRE L'AMBIANTE ET 90C. LES DIVERS HYDRURES SONT CONDENSES 19, 20, 21, SEPARES PAR EVAPORATION FRACTIONNEE SOUS VIDE PARTIEL.</P><P>LES HYDRURES DE SILICIUM, SILANE, DISILANE ET POLYSILANES SUPERIEURS APRES EPURATION SONT UTILISABLES COMME VECTEURS DE SILICIUM SUIVANT LEUR NATURE CHIMIQUE NOTAMMENT DANS L'INDUSTRIE DES COMPOSANTS ELECTRONIQUES, DES CELLULES PHOTOVOLTAIQUES, TAMBOURS DE PHOTOCOPIEURS ET A L'OPALISATION DES AMPOULES PAR VOIE SECHE.</P>
申请公布号 FR2556708(A1) 申请公布日期 1985.06.21
申请号 FR19830020267 申请日期 1983.12.19
申请人 AIR LIQUIDE 发明人 DOMINIQUE BELOT ET JEAN-YVES RADE;RADE JEAN-YVES
分类号 C01B33/04;G03G5/08;H01J9/20;(IPC1-7):C01B33/04 主分类号 C01B33/04
代理机构 代理人
主权项
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