DISPOSITIF A BULLES MAGNETIQUES, REALISE PAR IMPLANTATION IONIQUE ET PROCEDE DE FABRICATION D'UN TEL DISPOSITIF.

摘要

L'INVENTION CONCERNE UN DISPOSITIF A BULLES MAGNETIQUES, REALISE PAR IMPLANTATION IONIQUE ET UN PROCEDE DE FABRICATION D'UN TEL DISPOSITIF.CE DISPOSITIF COMPORTE UNE COUCHE DE MAGNETISATION8, MAGNETISEE SUIVANT UNE DIRECTION DANS LE PLAN ET QUI EST FORMEE PAR IMPLANTATION D'IONS DANS UNE PELLICULE DE GRENAT MAGNETIQUE4 APTE A RETENIR LES BULLES MAGNETIQUES DANS DES PARTIES DESIREES10 DE LA REGION SUPERFICIELLE DE CETTE PELLICULE, DES IONS IMPLANTES EN VUE DE FORMER LADITE COUCHE DE MAGNETISATION INCLUANT DES TYPES DONT L'ECART TYPE PROJETE N'EST PAS SUPERIEUR A 100NM, LADITE IMPLANTATION IONIQUE ETANT SUIVIE PAR UN TRAITEMENT THERMIQUE A UNE TEMPERATURE ELEVEE.APPLICATION NOTAMMENT A LA REALISATION DE DISPOSITIFS DE MEMOIRES A BULLES MAGNETIQUES.