发明名称 PROCEDE D'ATTAQUE PAR L'HYDROGENE DE SEMICONDUCTEURS ET D'OXYDES DE SEMICONDUCTEURS
摘要
申请公布号 FR2501909(B1) 申请公布日期 1985.06.21
申请号 FR19820003831 申请日期 1982.03.08
申请人 WESTERN ELECTRIC CY INC 发明人
分类号 H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/306;H01L27/00 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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