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发明名称 POSITIV-FOTORESISTZUSAMMENSETZUNGEN
摘要
申请公布号 DE3344202(A1) 申请公布日期 1985.06.20
申请号 DE19833344202 申请日期 1983.12.07
申请人 MERCK PATENT GMBH 发明人 HAAS,GUENTHER,DR.;HEINZ,DR. NEISIUS,KARL
分类号 G03C1/72;G03F7/022;G03F7/023;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/00 主分类号 G03C1/72
代理机构 代理人
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