| 摘要 |
<p>Magnetronkatode zum Zerstäuben von Targets aus ferromagnetischen Materialen. Ein Katodengrundkörper (2) besitzt mindestens eine Auflagefläche (4a, 4c) für das Target und ein Magnetsystem (6) mit auf dem Umfang zusammenhängenden, ineinanderliegenden und durch einen Zwischenraum (5a) getrennten Magnetpolen entgegengesetzter Polarität. Das Target ist durch mindestens einen, dem Verlauf des Zwischenraums geometrisch ähnlichen Luftspalt (14) in mindestens zwei Targetteile (12, 13) unterteilt, die in Tiefenrichtung der Katode gestaffelt auf der mindestens einen Auflagefläche (4a, 4c) angeordnet sind. Erfindungsgemäß ist: a) das Magnetsystem (6) hinter der am weitesten zurückgesetzten Auflagefläche (4a) für das Target (12, 13) angeordnet und b) die Breite "s" des Luftspalts (14) in Tiefenrichtung der Katode ist kleiner als der unter Betriebsbedingungen erforderliche Dunkelraumabstand.</p> |
