发明名称 |
DYNAMIC MIRROR ALIGNMENT CONTROL. |
摘要 |
Une commande améliorée d'alignement de miroir pour l'alignement dynamique des miroirs réfléchissants qui délimitent le cheminement optique dans un interféromètre comprend une servo-commande à boucle fermée qui utilise un rayon laser à deux fréquences (16) pour effectuer une comparaison de phases entre les rayons traversant différentes parties des cheminements optiques dans l'interféromètre pour déterminer l'alignement des miroirs (12, 14), cette comparaison de phases permettant de produire un signal de correction servant à l'alignement multi-axial d'au moins un des miroirs. |
申请公布号 |
EP0144338(A1) |
申请公布日期 |
1985.06.19 |
申请号 |
EP19840901488 |
申请日期 |
1984.03.05 |
申请人 |
BECKMAN INSTRUMENTS, INC. |
发明人 |
WIJNTJES, GEERT;HERCHER, MICHAEL |
分类号 |
G01J3/45;G01J3/453;(IPC1-7):G01J3/28;G01B9/02 |
主分类号 |
G01J3/45 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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