Method of manufacturing a grating and application of the manufactured grating.

摘要

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Herstellen eines optischen Gitters, wobei von einem Körper ausgegangen wird, von dem eine Oberfläche mit äquidistanten Rillen versehen wird. Zum Erhalten preisgünstiger und formfester Gitter wird nach der Erfindung eine Oberfläche eines Substrates mit einer Anzahl nahezu gleich dicker Schichten versehen, deren Ätzgeschwindigkeit in einem bestimmten Ätzmittel zu der Rangnummer der Bildung der Schichten nahezu proportional zunimmt. Daraufhin wird eine Querschnittsfläche der Schichten dem Ätzmittel ausgesetzt, wobei die Oberfläche mit den Rillen gebildet wird.