| 发明名称 |
MASK FOR THERMAL OXIDATION AND METHOD OF FORMING DIELECTRIC ISOLATION SURROUNDING REGIONS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0071203(A3) |
申请公布日期 |
1985.06.19 |
| 申请号 |
EP19820106651 |
申请日期 |
1982.07.23 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
KEMLAGE, BERNARD MICHAEL |
| 分类号 |
H01L21/76;H01L21/314;H01L21/316;H01L21/32;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/32 |
主分类号 |
H01L21/76 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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