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发明名称
APPARECCHIATURA E PROCEDIMENTO DI FABBRICAZIONE DI CIRCUITI INTEGRATI
摘要
申请公布号
IT1089816(B)
申请公布日期
1985.06.18
申请号
IT19770051022
申请日期
1977.09.15
申请人
XONICS INC
发明人
分类号
G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):H01C/
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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