发明名称
摘要
申请公布号 JPS6086559(U) 申请公布日期 1985.06.14
申请号 JP19830177815U 申请日期 1983.11.17
申请人 发明人
分类号 B08B3/04;C23G3/00;H01L21/304;H01L21/673;H01L21/68;(IPC1-7):C23G3/00 主分类号 B08B3/04
代理机构 代理人
主权项
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