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发明名称
摘要
申请公布号
JPS6086559(U)
申请公布日期
1985.06.14
申请号
JP19830177815U
申请日期
1983.11.17
申请人
发明人
分类号
B08B3/04;C23G3/00;H01L21/304;H01L21/673;H01L21/68;(IPC1-7):C23G3/00
主分类号
B08B3/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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