| 发明名称 |
MASK PROJECTION COPYING EQUIPMENT FOR WORK PIECE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS60108855(A) |
申请公布日期 |
1985.06.14 |
| 申请号 |
JP19840215293 |
申请日期 |
1984.10.16 |
| 申请人 |
BERUNAA BUEE TABARERI |
发明人 |
BUERUNAA BUEE TABARERI;ERUNSUTO REEBATSUHA |
| 分类号 |
H01L21/30;G02B7/28;G03F9/00;H01L21/027 |
主分类号 |
H01L21/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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