发明名称 |
OPTISCHES PROJEKTIONSGERAET |
摘要 |
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申请公布号 |
DE3443856(A1) |
申请公布日期 |
1985.06.13 |
申请号 |
DE19843443856 |
申请日期 |
1984.11.30 |
申请人 |
NIPPON KOGAKU K.K. |
发明人 |
ANZAI,SATORU;TANAKA,HIROSHI |
分类号 |
G02B3/14;G02B7/02;G02B13/24;G02B21/02;G03F7/20;(IPC1-7):G02B27/18;G03B27/52;H01L21/68 |
主分类号 |
G02B3/14 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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