发明名称 DEVELOPABLE WATER NEGATIVE RESIST COMPOSITION
摘要
申请公布号 JPS60107644(A) 申请公布日期 1985.06.13
申请号 JP19840191866 申请日期 1984.09.14
申请人 FUIRITSUPU EI HANTO CHEM CORP 发明人 MEDOHATSUTO EI TOOKII
分类号 G03F7/008;G03F7/012;G03F7/038 主分类号 G03F7/008
代理机构 代理人
主权项
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