| 发明名称 |
PRACOVNI KOMORA ZONALNI APARATURY PRO ZPRACOVANI VYSOCE CISTEHO MATERIALU |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
CS8402763(A1) |
申请公布日期 |
1985.06.13 |
| 申请号 |
CS19840002763 |
申请日期 |
1984.04.11 |
| 申请人 |
PETRZELA JAN;PETRASEK JOSEF |
发明人 |
PETRZELA JAN;PETRASEK JOSEF |
| 分类号 |
H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/324 |
主分类号 |
H01L21/324 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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