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发明名称 HERSTELLUNGSVERFAHREN FUER DUENNSCHICHTSTRUKTUREN, INSBESONDERE AUS A HOCH II B HOCH VI-VERBINDUNGSHALBLITERN
摘要
申请公布号 DD161215(A1) 申请公布日期 1985.06.12
申请号 DD19810233479 申请日期 1981.09.22
申请人 VEB WERK F. FERNSEHELEKTRONIK,DD 发明人 HEINE,GUENTER,DD;OBERNICK,HARTWIN,DD;MUELLER,GERT O.,DD
分类号 H01L21/363;H05B33/10;(IPC1-7):H01L21/363 主分类号 H01L21/363
代理机构 代理人
主权项
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