发明名称 WAFER INVERSION DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6024034(B2) 申请公布日期 1985.06.11
申请号 JP19760125956 申请日期 1976.10.20
申请人 TOKICO LTD 发明人 TAKAHATA MINORU;UEMATSU MASAYUKI;YAMAMOTO MASAYUKI
分类号 B67D7/40;B60S5/02 主分类号 B67D7/40
代理机构 代理人
主权项
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