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发明名称
摘要
申请公布号	JPS6083242(U)	申请公布日期	1985.06.08
申请号	JP19830177168U	申请日期	1983.11.15
申请人		发明人
分类号	H01L21/52;H01L21/58;H01L21/60;H01L23/48;H01L23/50;(IPC1-7):H01L21/58	主分类号	H01L21/52
代理机构		代理人
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