Process and device for storing measuring data from sub-domains of a sputter crater produced and analyzed in a secondary ion mass spectrometer.

摘要

Ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Speicherung der Meßdaten (MS) aus einem Sputterkrater (SK), der in einem Sekundärionen-Massenspektrometer erzeugt und analysiert wird, sollen erheblich einfacher und kostengünstiger sein als ein Verfahren und eine Vorrichtung zur vollständigen Datenspeicherung und sollen dennoch einen wesentlichen Fortschritt gegenüber dem bisher üblichen integralen Verfahren aufweisen. Der vom Ionenstrahl des Sekundärionen-Massenspektrometers überstrichene Bereich wird in eine Anzahl von Teilflächen unterteilt, jeder dieser Teilflächen wird ein Platz in einem Speicher (LA) zugeordnet, während einer Abrasterung des Sputterkraters (SK) mit dem Ionenstrahl werden die aus den einzelnen Teilflächen stammenden Signalanteile (MS) in diesem Speicher (LA) an dem der jeweiligen Teilfläche zugeordneten Platz abgelegt und nach Ende mindestens einer Abrasterung des Sputterkraters (SK) werden die Meßdaten (MS) ausgewertet.