发明名称 PROJECTION PRINTING
摘要
申请公布号 GB2105860(B) 申请公布日期 1985.06.05
申请号 GB19820022040 申请日期 1982.07.30
申请人 * CANON KK 发明人 HIROSI * SATO;AKIYOSHI * SUZUKI;TAKASHI * OMATA;MASAO * KOSUGI
分类号 G03B27/32;G03F7/20;G03F9/00;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03B27/32 主分类号 G03B27/32
代理机构 代理人
主权项
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