发明名称 |
PROCESS FOR PREPARING THIN FILM OF SEMICONDUCTOR |
摘要 |
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申请公布号 |
PL248883(A2) |
申请公布日期 |
1985.06.04 |
申请号 |
PL19840248883 |
申请日期 |
1984.07.20 |
申请人 |
POLITECHNIKA WROCLAWSKA |
发明人 |
SZCZUREK ANDRZEJ;LORENZ KRZYSZTOF |
分类号 |
G01N;G01N27/00;(IPC1-7):G01N/ |
主分类号 |
G01N |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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