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发明名称 VACUUM DEPOSITION DEVICE
摘要
申请公布号 JPS60100666(A) 申请公布日期 1985.06.04
申请号 JP19840156480 申请日期 1984.07.26
申请人 MITSUSHIERU AROBON;REON GOORUDOSUTEN 发明人 MITSUSHIERU AROBON;REON GOORUDOSUTEN
分类号 C23C14/24;C23C14/56 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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