| 发明名称 |
STRALINGSBRON VOOR OPTISCHE APPARATEN, IN HET BIJZONDER VOOR FOTOLITHOGRAFISCHE AFBEELDINGSSYSTEMEN. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
NL8403294(A) |
申请公布日期 |
1985.06.03 |
| 申请号 |
NL19840003294 |
申请日期 |
1984.10.30 |
| 申请人 |
JENOPTIK JENA G.M.B.H. TE JENA, DUITSE DEMOCRATISCHE REPUBLIEK. |
发明人 |
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| 分类号 |
G03B27/54;G03F7/20;H01L21/027;H05H1/22;(IPC1-7):H01J65/04 |
主分类号 |
G03B27/54 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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