| 发明名称 |
METHOD FOR FORMING SHARPLY DEFINED APERTURES IN AN INSULATING LAYER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US3447984(A) |
申请公布日期 |
1969.06.03 |
| 申请号 |
USD3447984 |
申请日期 |
1965.06.24 |
| 申请人 |
INTERN. BUSINESS MACHINES CORP. |
发明人 |
PAUL P. CASTRUCCI;SAMUEL S. IM |
| 分类号 |
C23F1/02;H01L21/00;H01L23/29;H01L23/485;(IPC1-7):C23F1/02 |
主分类号 |
C23F1/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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