发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE ISOLATION GROOVES
摘要
申请公布号 GB2148591(A) 申请公布日期 1985.05.30
申请号 GB19840016885 申请日期 1984.07.03
申请人 * HITACHI LTD;* HITACHI MICROCOMPUTER ENGINEERING LTD 发明人 DAISUKE * OKADA;AKIHISA * UCHIDA;TOSHIHIKO * TAKAKURA;SHINJI * NAKASHIMA;NOBUHIKO * OHNO;KATSUMI * OGIUE
分类号 H01L21/31;H01L21/331;H01L21/76;H01L21/763;H01L29/73;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/76;H01L21/314;H01L27/04 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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