发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON DUENNSCHICHTWIDERSTAENDEN HOHER PRAEZISION
摘要
申请公布号 DD223003(A1) 申请公布日期 1985.05.29
申请号 DD19830257926 申请日期 1983.12.14
申请人 ADW DER DDR,DD 发明人 BAETHER,KARL-HEINZ,DD;HINUEBER,WILFRIED,DD;MOENCH,JENS-INGOLF,DD;VOIGTMANN,RAINER,DD;PAGEL,LIENHARD,DD;WEHER,JOERG-ULRICH,DD
分类号 H01C17/00;H01L21/308;H01L49/02;(IPC1-7):H01C17/00 主分类号 H01C17/00
代理机构 代理人
主权项
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