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发明名称 INSPECTION APPARATUS OF SEMICONDUCTOR TESTING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS6093973(A) 申请公布日期 1985.05.25
申请号 JP19830203303 申请日期 1983.10.28
申请人 MITSUBISHI DENKI KK 发明人 NISHIMURA YASUMASA
分类号 G01R31/26;G01R35/00;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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