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摘要
申请公布号
JPS6020910(B2)
申请公布日期
1985.05.24
申请号
JP19770081796
申请日期
1977.07.07
申请人
HANDOTAI KENKYU SHINKOKAI
发明人
NISHIZAWA JUNICHI
分类号
H01L29/80;H01L21/8222;H01L27/04;H01L27/06;H01L31/10
主分类号
H01L29/80
代理机构
代理人
主权项
地址
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