发明名称 Method of producing an integrated semiconductor circuit
摘要
申请公布号 DE3440721(A1) 申请公布日期 1985.05.23
申请号 DE19843440721 申请日期 1984.11.07
申请人 HITACHI,LTD. 发明人 KAWAJI,MIKINORI;TAKAKURA,TOSHIHIKO;UCHIDA,AKIHISA;KURODA,SHIGEO
分类号 H01L21/331;H01L21/76;H01L21/763;H01L29/73;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/72;H01L21/95;H01L29/72 主分类号 H01L21/331
代理机构 代理人
主权项
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