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发明名称 Verdampfereinrichtung zum Aufdampfen gleichmaessig dicker Schichten auf einen Traeger
摘要
申请公布号 DE1521511(B1) 申请公布日期 1969.12.11
申请号 DE19661521511 申请日期 1966.10.10
申请人 SIEMENS AG 发明人 WOHAK DR KURT
分类号 C23C14/24;(IPC1-7):C23C13/08;C23C13/06 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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